GB/T 4937.1-2006 半導(dǎo)體器件機(jī)械和氣候試驗(yàn)方法 第1部分：總則
GB/T 4937.8 半導(dǎo)體器件機(jī)械和氣候試驗(yàn)方法 第8部分：密封
IEC 60749- 8：2002 半導(dǎo)體器件機(jī)械和氣候試驗(yàn)方法第8部分：密封
GB/T 2423. 23-2013環(huán)境試驗(yàn)第2部分： 試驗(yàn)方法試驗(yàn)Q：密封

為了防止半導(dǎo)體設(shè)備、集成電路等部件表面因污染水蒸氣等雜質(zhì)而導(dǎo)致性能退化，必須用管殼密封。然而，由于各種原因，管殼的接頭或引線接頭往往會(huì)產(chǎn)生一些肉眼難以找到的小孔。因此，組件包裝后，需要采取一些方法來(lái)檢測(cè)這些小孔的存在。
半導(dǎo)體器件密封試驗(yàn)?zāi)康恼菣z測(cè)半導(dǎo)體器件的漏率。 健明迪檢測(cè)環(huán)境可靠性實(shí)驗(yàn)中心擁有各種半導(dǎo)體器件機(jī)械和氣候試驗(yàn)設(shè)備，具備密封試驗(yàn)?zāi)芰?，為半?dǎo)體器件、設(shè)備提供專業(yè)的密封試驗(yàn)服務(wù)。

半導(dǎo)體器件密封試驗(yàn)?zāi)康恼菣z測(cè)半導(dǎo)體器件的漏率。 健明迪檢測(cè)環(huán)境可靠性實(shí)驗(yàn)中心擁有各種半導(dǎo)體器件機(jī)械和氣候試驗(yàn)設(shè)備，具備密封試驗(yàn)?zāi)芰?，為半?dǎo)體器件、設(shè)備提供專業(yè)的密封試驗(yàn)服務(wù)。

1、細(xì)檢漏：放射性氪方法
在具有適當(dāng)?shù)姆派湫允聚櫄怏w的箱內(nèi)加壓之后，測(cè)量器件內(nèi)部所呈現(xiàn)的放射性強(qiáng)度，從而確定半導(dǎo)體器件的漏泄率，適用于玻璃、金屬或陶瓷（或它們的組合體）氣密封裝的器件。
2、細(xì)檢漏：使用質(zhì)譜儀的示蹤氣體（氦）方法
適用于所有空腔型封裝，除示蹤氣體壓力是單一的，封裝的機(jī)械強(qiáng)度隨尺寸、壁厚面積比、材料和結(jié)構(gòu)等而變化。
3、粗檢漏：使用電子檢測(cè)儀的全氟化碳?xì)怏w法
通過(guò)對(duì)浸在液體中的半導(dǎo)體器件加壓而測(cè)量逸出器件的全氟化碳的量的多少來(lái)確定半導(dǎo)體器件的漏率，適用于玻璃、金屬或陶瓷（或他們的組合）氣密封裝的器件。
4、其他方法：
粗檢漏：全氟化碳?xì)馀輽z測(cè)法
增重粗檢漏法
染料滲透粗檢漏法
粗檢漏重檢